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产品名称:扩散炉
温度:1050˚C
温区长度:900 - 1100 mm
特点:
技术参数: ↓
技术参数:

应用领域

GKS系列扩散炉主要应用于半导体材料的扩散、氧化工艺,同时也用于石英制品的退火、稀有金属粉末和发光材料的煅烧等工艺。

 

主要特点

¨  采用高纯石英管作为内炉膛,具有优良的洁净度。

¨  全部采用超轻质的陶瓷纤维制品耐火保温,整机结构小、能耗低、升温快。

¨  加热元件采用真空吸滤成型的陶瓷纤维加热器(FEC),响应快、效率高、寿命长。

¨  温控系统采用进口多段智能程序温度控制仪控制,具有良好的稳定性和一致性。

技术参数

 

型号

最高温度 °C

炉管外径×管长 mm

发热元件

温区个数

炉管材质

控制精度

加热功率 kw

GKS(D)-09/90/3

1050℃

Ф90×1800

Kanthal电阻丝

3个

高纯石英

±1℃

7.5

GKS(D)-18/110/3

1050℃

Ф90×1800

Kanthal电阻丝

3个

高纯石英

±1℃

15

GKS(S)-09/90/3

1050℃

Ф90×1800

Kanthal电阻丝

6个

高纯石英

±1℃

15

GKS(S)-18/110/3

1050℃

Ф90×1800

Kanthal电阻丝

6个

高纯石英

±1℃

30

 

 

 

GKS-□/□/□

选件功能

/□

/□

/□

 

Z

 

 

真空系统:单级机械泵

 

Q

 

气氛系统:浮子流量计;进口/国产质量流量计

 

 

J

记录打印:有(无)纸记录仪